5月14日，微導(dǎo)納米披露了首輪問(wèn)詢(xún)函回復(fù)報(bào)告。微導(dǎo)納米已不是第一次闖關(guān)科創(chuàng)板， 2020年6月，公司科創(chuàng)板IPO申請(qǐng)就曾被上交所受理，不過(guò)后又于2020年12月終止審核。彼時(shí)，系微導(dǎo)納米主動(dòng)撤回上市申請(qǐng)。

2022年3月，微導(dǎo)納米再度闖關(guān)科創(chuàng)板。在首輪問(wèn)詢(xún)中，上交所要求公司就科創(chuàng)屬性等諸多問(wèn)題作出回復(fù)。

微導(dǎo)納米主營(yíng)ALD設(shè)備，主要下游客戶(hù)為光伏電池廠(chǎng)商。目前，光伏行業(yè)正在經(jīng)歷一場(chǎng)N型電池的變革浪潮，具體方向包括TOPCon路線(xiàn)、HJT異質(zhì)結(jié)路線(xiàn)以及IBC路線(xiàn)。

微導(dǎo)納米產(chǎn)品以ALD為主

微導(dǎo)納米產(chǎn)品主要用于光伏產(chǎn)業(yè)鏈的中游環(huán)節(jié)，為太陽(yáng)能電池片廠(chǎng)商提供鍍膜設(shè)備，用于在電池片正面或背面鍍Al2O3和SiNX，是光伏電池片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的關(guān)鍵工藝設(shè)備。

微導(dǎo)納米以原子層沉積（ALD）技術(shù)為核心，主要從事先進(jìn)微、納米級(jí)薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，向下游客戶(hù)提供先進(jìn)薄膜沉積設(shè)備、配套產(chǎn)品及服務(wù)。

自2017年以來(lái)，PERC電池逐漸成為主流太陽(yáng)能電池片技術(shù)路線(xiàn)。而實(shí)現(xiàn)PERC電池的量產(chǎn)，背鈍化設(shè)備是其中的關(guān)鍵設(shè)備。PECVD和ALD正是兩種最主要的背鈍化技術(shù)。

不管是ALD還是PECVD，都屬于薄膜沉積工藝。而薄膜沉積設(shè)備通常用于基底上沉積導(dǎo)體、絕緣體或者半導(dǎo)體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體等領(lǐng)域的生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。

按照工藝原理不同，薄膜沉積設(shè)備可分為物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）設(shè)備。

據(jù)微導(dǎo)納米招股書(shū)，在光伏制造領(lǐng)域，PVD設(shè)備可用于HJT光伏電池透明電極；CVD設(shè)備可用于PERC電池背面鈍化層、PERC電池減反層，TOPCon電池接觸鈍化層、減反層，HJT電池接觸鈍化層；ALD設(shè)備可用于PERC電池背面鈍化層，TOPCon電池隧穿層、接觸鈍化層、減反層。

目前，光伏電池主要有兩大發(fā)展方向，分別為T(mén)OPCon電池和HJT電池，不管哪種方向成為主流，均有CVD設(shè)備的用武之地。而ALD設(shè)備可用于TOPCon電池，但招股書(shū)并未提及可用于HJT電池。

當(dāng)下主流光伏設(shè)備廠(chǎng)商中，捷佳偉創(chuàng)、北方華創(chuàng)主要提供PECVD設(shè)備，據(jù)微導(dǎo)納米首輪問(wèn)詢(xún)回復(fù)報(bào)告，2020年，兩家公司光伏PECVD設(shè)備營(yíng)業(yè)收入分別為21.58億元、3億元~5億元。而微導(dǎo)納米2020年?duì)I收3.13億元，均為光伏ALD業(yè)務(wù)收入。

未來(lái)技術(shù)路線(xiàn)之爭(zhēng)：設(shè)備偏重TOPCon

根據(jù)中國(guó)光伏行業(yè)協(xié)會(huì)《2020-2021年中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)年度報(bào)告》，PERC產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)常用的Al2O3鍍膜設(shè)備產(chǎn)能指標(biāo)中，ALD設(shè)備優(yōu)于PECVD設(shè)備。捷佳偉創(chuàng)、Centrotherm技術(shù)類(lèi)型為PECVD，產(chǎn)能分別為5700片/小時(shí)、6000片/小時(shí)；而理想晶延、微導(dǎo)納米技術(shù)類(lèi)型為ALD，產(chǎn)能分別為7200片/小時(shí)、10000片/小時(shí)。

可以看出，在PERC生產(chǎn)中，ALD設(shè)備技術(shù)指標(biāo)更高。

不過(guò)，若是未來(lái)技術(shù)路線(xiàn)倒向HJT電池，是否會(huì)對(duì)微導(dǎo)納米產(chǎn)生沖擊？在問(wèn)詢(xún)函中，上交所科創(chuàng)板上市委要求其說(shuō)明，光伏領(lǐng)域的市場(chǎng)份額占比情況與技術(shù)難度差異，各技術(shù)路線(xiàn)的發(fā)展趨勢(shì)及相互轉(zhuǎn)換的難度，ALD 技術(shù)能否應(yīng)用于新型電池技術(shù)路線(xiàn)，結(jié)合三類(lèi)技術(shù)（PVD、CVD和ALD）的優(yōu)劣勢(shì)、下游技術(shù)路線(xiàn)變化情況、客戶(hù)需求、設(shè)備成本，說(shuō)明光伏領(lǐng)域ALD技術(shù)是否存在被取代的風(fēng)險(xiǎn)。

從訂單情況看，微導(dǎo)納米2021年簽署3份新型高效電池產(chǎn)線(xiàn)重大銷(xiāo)售合同，技術(shù)路線(xiàn)均屬于TOPCon，2022年2月、3月，微導(dǎo)納米又簽署4份新型高效電池產(chǎn)線(xiàn)重大銷(xiāo)售合同，一份為T(mén)OPCon，2份為HBC電池，還有一份來(lái)自珠海富山愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司的N型高效電池。該公司為上市公司愛(ài)旭股份全資子公司，而愛(ài)旭股份傾向于發(fā)展ABC電池。

由此可見(jiàn)，微導(dǎo)納米取得的7份重大銷(xiāo)售合同中，沒(méi)有一份與HJT電池產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)相關(guān)。另外，微導(dǎo)納米承認(rèn)，設(shè)備廠(chǎng)商需要針對(duì)三種技術(shù)路線(xiàn)（PVD、CVD和ALD）的技術(shù)難點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域，分別對(duì)相關(guān)工藝和產(chǎn)品進(jìn)行設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)，三種技術(shù)路線(xiàn)之間無(wú)法直接相互轉(zhuǎn)換。

公司表示，下游技術(shù)路線(xiàn)處于多種技術(shù)并行狀態(tài)，雖然公司的ALD技術(shù)已在 TOPCon電池應(yīng)用中展現(xiàn)出一定的優(yōu)勢(shì)，但如果未來(lái)其他電池技術(shù)路線(xiàn)的產(chǎn)線(xiàn)投資和運(yùn)營(yíng)成本顯著下降，而公司的 ALD技術(shù)、CVD技術(shù)未能在該電池技術(shù)路線(xiàn)的應(yīng)用上形成有效突破，則會(huì)對(duì)公司未來(lái)在光伏領(lǐng)域的發(fā)展造成不利影響。

不過(guò)，微導(dǎo)納米也認(rèn)為，目前下一代高效電池技術(shù)聚焦在N型單晶硅電池TOPCon和HJT上。當(dāng)前HJT產(chǎn)線(xiàn)仍處于磨合期，由于設(shè)備投資較高、非硅成本難以快速下降的問(wèn)題，雖然國(guó)內(nèi)電池片廠(chǎng)商產(chǎn)能布局較多，但實(shí)際落地項(xiàng)目偏少。TOPCon電池在產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中已獲得先發(fā)優(yōu)勢(shì)。