中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)的“拓荒者”——記北京科華創(chuàng)始人陳昕

2021-10-28 14:20:20 作者:李興彩

53歲時(shí)你在做什么?北京科華創(chuàng)始人陳昕的決定是:創(chuàng)辦一家研發(fā)先進(jìn)半導(dǎo)體光刻膠的公司。

2004年8月,陳昕回國(guó)創(chuàng)辦了北京科華,計(jì)劃用5年時(shí)間做到G/I線光刻膠的量產(chǎn)。陳昕沒想到的是,遇到的困難遠(yuǎn)超她的預(yù)期和想象。“技術(shù)問題、人才問題,甚至所用設(shè)備的進(jìn)口問題(系國(guó)內(nèi)第一次進(jìn)口),都冒了出來(lái)。”回憶起創(chuàng)業(yè)路,陳昕笑著說,每天從早上7點(diǎn)到晚上7點(diǎn),她按照這樣“雷打不動(dòng)”的時(shí)間表工作了17年。

17年來(lái),陳昕帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)創(chuàng)建了多個(gè)國(guó)內(nèi)第一:實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)第一支G/I線光刻膠的量產(chǎn);完成了國(guó)內(nèi)首條KrF(248nm)光刻膠生產(chǎn)線的建設(shè);開發(fā)出國(guó)內(nèi)首支ArF(193nm)干法光刻膠樣品等。

對(duì)于放棄北京科華的控股權(quán),選擇與彤程新材合作,陳昕表示,科技耀中華,這是她創(chuàng)立北京科華的初心和使命。找她談合作的上市公司有一打,但她最終選擇與彤程新材合作,是因?yàn)楦袆?dòng)于彤程新材董事長(zhǎng)張寧的付出,欽佩于張寧的決斷與奉獻(xiàn)精神。

一個(gè)女人的“出征”

在中國(guó)半導(dǎo)體圈,陳昕是一個(gè)傳奇——在53歲時(shí)創(chuàng)立了北京科華,并用10年的時(shí)間讓北京科華實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。

“這不是某一刻的決定,在那之前,為推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展,我已經(jīng)跟國(guó)內(nèi)企業(yè)合作了8年。”提及當(dāng)初的創(chuàng)業(yè),陳昕告訴記者,在創(chuàng)立科華之前,她在美國(guó)的半導(dǎo)體光刻膠公司工作。每年回國(guó)交流,都會(huì)認(rèn)真給出發(fā)展先進(jìn)半導(dǎo)體光刻膠的建議。

但是,陳昕的建議如“泥牛入海”,讓陳昕?jī)?nèi)心十分苦悶。“你說的事情要花很多錢,還要承擔(dān)很多責(zé)任。”這樣的反饋?zhàn)岅愱恳庾R(shí)到,自己對(duì)祖國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)的夢(mèng)想不能讓別人負(fù)責(zé)。

“你學(xué)了一門祖國(guó)需要的學(xué)問,這是幸運(yùn)的。”媽媽的話給了陳昕莫大的鼓勵(lì),重新喚醒了她的夢(mèng)想。陳昕決定,回國(guó)創(chuàng)辦一家半導(dǎo)體光刻膠公司。2003年,陳昕與合作伙伴回國(guó)內(nèi)調(diào)研,看到了國(guó)內(nèi)微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的好勢(shì)頭。2004年夏天,在和平里七區(qū)一間不到30平方米的小房子里,北京科華誕生了。

陳昕的目標(biāo)是:在國(guó)內(nèi)創(chuàng)建一個(gè)具有國(guó)際水準(zhǔn)的光刻膠企業(yè),用5年時(shí)間幫助國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)當(dāng)時(shí)先進(jìn)的G/I線光刻膠的產(chǎn)業(yè)化。為此,她傾盡所有,籌集了1000萬(wàn)美元啟動(dòng)資金。

在投身到建廠工作時(shí),陳昕才開始深刻理解當(dāng)初她的合作伙伴為什么遲遲沒有邁出建廠的腳步。

“在廠房設(shè)計(jì)即將完成的時(shí)候,我們卻被告知購(gòu)置的土地不能使用了。”陳昕告訴記者,北京科華設(shè)立后,在通州購(gòu)置了土地自建廠房,在被通知不能使用這塊土地后,又輾轉(zhuǎn)通過當(dāng)時(shí)北京經(jīng)信局的幫助協(xié)調(diào),轉(zhuǎn)戰(zhàn)北京順義的天竺保稅區(qū),可謂一波三折。除了土地,工廠的設(shè)備幾乎都要進(jìn)口,流程冗長(zhǎng)、復(fù)雜;而且,國(guó)內(nèi)工程師幾乎都沒有見過那些設(shè)備,更別提安裝、使用。

最終,原本計(jì)劃12個(gè)月的建廠工作,北京科華花了足足30個(gè)月才完成,建廠費(fèi)用也從預(yù)計(jì)的同類美國(guó)工廠的70%,上升到110%。

相比這些困難,陳昕遇到的最大問題是“無(wú)人可用”。技術(shù)、人才、資金,是這個(gè)項(xiàng)目必備的三要素。“這個(gè)領(lǐng)域在國(guó)際上發(fā)展了30年,但國(guó)內(nèi)大學(xué)連這個(gè)方向的教學(xué)都還沒有,國(guó)內(nèi)也沒有什么像樣的光刻膠公司,更別提成熟的專業(yè)技術(shù)人才,甚至成熟的工程建設(shè)人才。”陳昕的回憶略帶苦澀。

沒有人才,陳昕就找到清華大學(xué)、中科院,利用暑期給學(xué)生做培訓(xùn)。之后,陳昕再聯(lián)系美國(guó)原來(lái)的老同事,把這些學(xué)生送出去學(xué)習(xí)……

終于,北京科華在磕磕碰碰中走到了量產(chǎn)。2009年5月8日,以建設(shè)“國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際一流”半導(dǎo)體光刻膠公司為宗旨的北京科華舉行了剪彩儀式,宣告中國(guó)有了自己的G/I線光刻膠生產(chǎn)線。

一眾年輕人的激勵(lì)

回憶起自己的創(chuàng)業(yè)史,陳昕用得最多的字眼是“感動(dòng)”。她說,能堅(jiān)持到今天,是因?yàn)槟切┮黄鸸ぷ鞯哪贻p人感動(dòng)著她、激勵(lì)著她??迫A的成功,是這些年輕人的成功。

“你知道嗎?我曾經(jīng)一度做了逃兵,是這些年輕人又把我拉了回來(lái)。”陳昕笑著告訴記者一個(gè)“小插曲”:在花了6個(gè)月、10萬(wàn)美元完成廠房設(shè)計(jì)后,通州的土地卻被收回了,她決定個(gè)人向合作伙伴賠付這筆錢然后結(jié)束項(xiàng)目。在阿拉斯加的游艇上,她收到員工的一條短信:在中國(guó)做光刻膠,是你自己的夢(mèng),也是大家的夢(mèng)。大家都在為此努力,你沒有權(quán)利放棄。這條短信讓她感到非常慚愧和感動(dòng),她至今還保留著這條短信。

按照陳昕的計(jì)劃,在幫助國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)G/I光刻膠的產(chǎn)業(yè)化后,她就退休。但是,隨著產(chǎn)業(yè)發(fā)展,陳昕意識(shí)到,她和北京科華必須承擔(dān)起KrF(248nm)先進(jìn)光刻膠產(chǎn)業(yè)化的重任。

在248nm光刻膠產(chǎn)線建設(shè)過程中,陳昕再度被一起工作的那些年輕人所感動(dòng)。由于當(dāng)時(shí)北京科華的體量有限,數(shù)億元的投資成為公司亟待解決的問題。在最困難的時(shí)候,部分科華的員工抵押了自己的房產(chǎn),來(lái)籌集資金幫助企業(yè)渡過難關(guān)。最終,在全體員工的努力下,北京科華終于完成了中國(guó)第一條高檔光刻膠生產(chǎn)線的建設(shè)。Kempur(北京科華的英文名稱)終于浮出水面,被世界所知曉。2013年,國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)主動(dòng)將北京科華收錄為會(huì)員。這意味著,國(guó)際上承認(rèn)中國(guó)有半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)了。

“陳昕你好幸運(yùn),怎么會(huì)有這么好的年輕人為你工作!”每每這個(gè)時(shí)候,陳昕的合作伙伴都無(wú)比感慨。

“等我退休了,我要寫一本書,告訴全世界,這些年輕人有多么可愛,他們做了多么了不起的工作。”陳昕告訴記者,北京科華的成功不是她一個(gè)人的功勞,是這些年輕人作出了卓越的貢獻(xiàn)。記者了解到,一直以來(lái),科華的團(tuán)隊(duì)非常穩(wěn)定,那些參與創(chuàng)業(yè)的80后,現(xiàn)在大部分都成為公司的骨干。

“交棒”另一位追夢(mèng)者

“居然需要3億元,真是瘋了。”回憶起研發(fā)先進(jìn)光刻膠的歷程,陳昕印象深刻的是2010年申報(bào)KrF(248nm)光刻膠課題的事情。那時(shí),人們不能理解研發(fā)光刻膠還需要購(gòu)置昂貴的光刻機(jī)。而在2012年建成KrF(248nm)光刻膠生產(chǎn)線后,北京科華依然不被投資人看好。“估值2.12億元,如果有人開得更高,你要多少我給多少。”彼時(shí),某知名投資人曾這樣對(duì)陳昕講。

有了KrF高檔光刻膠是榮譽(yù),更是壓力,高昂的研發(fā)費(fèi)用、漫長(zhǎng)的晶圓廠驗(yàn)證周期,給北京科華的流動(dòng)資金帶來(lái)巨大壓力。最艱難的時(shí)候,陳昕遇到了彤程新材的創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)張寧。

“好人比有錢人更重要。”對(duì)于選擇與彤程新材合作,陳昕說,科華在先進(jìn)光刻膠領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟后,有十多家公司找上門來(lái)合作,最終她選擇了彤程新材,是因?yàn)閺垖幾屗械桨残摹?/p>

陳昕給記者講了一件小事:有一位老師生病,因承擔(dān)不起30萬(wàn)元的住院押金,老師的兒子無(wú)奈發(fā)起水滴籌,她捐了款并轉(zhuǎn)發(fā)到了朋友圈。張寧看到后,就通過自己的基金會(huì),幫這位老師繳納了手術(shù)的全部費(fèi)用。

目前,通過受讓股份及簽署一致行動(dòng)人協(xié)議,彤程新材旗下彤程電子直接持有北京科華56.56%的股權(quán),合計(jì)持有北京科華超過70%的表決權(quán)。

“北京科華與彤程新材合作,二者有機(jī)會(huì)共同成長(zhǎng)為國(guó)際一流的電子材料公司。”對(duì)于放棄對(duì)北京科華的控股權(quán),陳昕認(rèn)為,彤程新材在精細(xì)化工方面的積累,有助于幫助北京科華解決樹脂等原材料問題。更重要的是,在光刻膠上獲得回報(bào)需要時(shí)間和耐心,張寧作為企業(yè)家,比自己這個(gè)科學(xué)家更適合掌管“帥印”。

“我們每天都有新進(jìn)展。”張寧告訴記者,從見到陳昕的那天起,她就知道,陳昕的光刻膠夢(mèng)想也是自己的,科華將站在彤程新材的肩膀上,繼續(xù)先進(jìn)光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。在2021年半年報(bào)中,彤程新材披露,KrF(248nm)光刻膠產(chǎn)品放量、多個(gè)光刻膠樹脂產(chǎn)品完成開發(fā)和認(rèn)證……

“交棒”張寧后,陳昕也沒有閑著。除了繼續(xù)KrF(248nm)、ArF(193nm)、EUV光刻膠研發(fā)及路線規(guī)劃外,陳昕還想從更高的層面來(lái)促進(jìn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展——創(chuàng)建一個(gè)具有國(guó)際水準(zhǔn)的研發(fā)中心,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)自動(dòng)化、智能化。

“做實(shí)驗(yàn),一個(gè)人一個(gè)月做100次就不少了,但計(jì)算機(jī)一天可以完成1000次。”陳昕說,她對(duì)到2025年中國(guó)的先進(jìn)光刻膠基本上可以滿足國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求充滿信心,但新的趨勢(shì)是,國(guó)際上已經(jīng)開始用軟件替代人力開展研發(fā),她想給國(guó)內(nèi)補(bǔ)上這一課。

掃一掃分享本頁(yè)